電子特種氣體是電子工業(yè)的“血液”，是半導體生產制造中不可或缺的關鍵性材料，同時也是集成電路制造中的第二大原材料，其占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。其在半導體產品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、也將面板、LED及光伏等材料的“糧食“和”源”?！　￠L期以來，沃飛科技一直助力中國半導體行業(yè)的穩(wěn)步發(fā)展，不僅提供先進可靠的電子特氣創(chuàng)新產品，針對客戶流體系統(tǒng)中存在的棘手難題，提供全面的解決方案。沃飛科技現場工程服務團隊多次在國內電子特氣生產企業(yè)中開展過實地服務，幫助他們規(guī)避了許多生產隱患，提高了生產穩(wěn)定性、安全性?！　?nbsp;　　那么，沃飛科技如何推動電子特氣系統(tǒng)的安裝與應用呢。通常而言，特氣輸送系統(tǒng)是將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設備的用氣點，其基本流程是：氣源、控制柜、管道傳輸、VMB、用氣點。　　 　　除了選擇合適的特氣系統(tǒng)之外，還需要打造一個良好的特氣輸送環(huán)境。特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設，其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等，而且需要有良好的通風條件?？筛鶕怏w性質宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間等。其中，低蒸汽壓力特種氣體供應設施應盡可能靠近工藝設備?！　∵x擇好特氣房，便是管道系統(tǒng)的設計。在設計之前，首先要選好材料，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。此次是主管路系統(tǒng)，在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短，拐彎最少的原則，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。最后，管道還要有良好的接地?？傮w而言，管道系統(tǒng)的設計需充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們設計的重點，這樣可顯著降低整個系統(tǒng)的成本?！　√胤N氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審、施工組織編寫、預制間的搭設、施工機具的準備、施工人員的培訓、預制圖紙的編寫、管道的預制、管道的現場安裝、系統(tǒng)檢測和系統(tǒng)驗收等環(huán)節(jié)?！　∽鳛閷I(yè)從事氣體應用系統(tǒng)工程的高新技術企業(yè)，沃飛科技目前已掌握自主研發(fā)的特種氣體生產關鍵環(huán)節(jié)核心技術，在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、管道工程等特種氣體生產關鍵環(huán)節(jié)形成了自主研發(fā)的核心技術，致力于為先進制造企業(yè)及研發(fā)機構提供高純工藝系統(tǒng)解決方案，業(yè)務涵蓋了整個系統(tǒng)方案設計、材料和設備供應、安裝、測試、調試和系統(tǒng)托管服務，全力賦能電子特氣行業(yè)高質量發(fā)展。