亚洲黄色电影在线观看,官网A片,色玖玖玖免费视频,在线观看黄色AV,网爆理论视频在线观看,www.色色AV

熱線 0755-27919860

離子注入工藝中PH3廢氣處理設(shè)備Local Scrubber

2020-12-01 10:31:34    責(zé)任編輯: 廢氣處理設(shè)備制造廠商     0

半導(dǎo)體工業(yè)在給人們帶來(lái)財(cái)富的同時(shí),也伴隨著對(duì)人類(lèi)生存環(huán)境的危害。近年來(lái),半導(dǎo)體工業(yè)的環(huán)境問(wèn)題受到國(guó)際社會(huì)的極大關(guān)注。在半導(dǎo)體制造工序中會(huì)使用多種特殊氣體如PH3、SiH4等等,同時(shí)隨之而來(lái)的是大量廢氣的產(chǎn)生。這些半導(dǎo)體制造工序中工藝廢氣如果未經(jīng)廢氣處理設(shè)備(Local Scrubber)有效地減低廢氣排放量及排放濃度,將會(huì)給周邊環(huán)境帶來(lái)嚴(yán)重的污染,并有可能危及人們的生命安全。



其中,在半導(dǎo)體制造工序中PH3參與擴(kuò)散和離子注入工藝,是一種無(wú)色的有毒氣體,極易燃,具有腐蝕性和強(qiáng)還原性,遇熱的明火有燃燒爆炸的危險(xiǎn)。暴露在空氣中能自燃。人體如果吸入PH3,會(huì)影響人體的細(xì)胞代謝,發(fā)生內(nèi)窒息,損害神經(jīng)系統(tǒng)等。



PH3廢氣可通過(guò)吸附式廢氣處理設(shè)備(Local Scrubber)進(jìn)行處理,制程生產(chǎn)的廢氣在風(fēng)機(jī)壓力下由入氣口管道進(jìn)入主吸附桶,廢氣中需要處理的有毒氣體組分在主吸附桶中被吸附劑吸附處理,吸附后的廢氣經(jīng)變色球檢驗(yàn)合格后從出氣口排出,再送至central scrubber 做水洗中和處理后,最后排入大氣,確保廢氣處理的安全性處理過(guò)程中沒(méi)有危害。



綜上,PH3是一種有毒的高危險(xiǎn)性氣體,參與制程工藝中的擴(kuò)散和離子注入,需經(jīng)廢氣處理設(shè)備處理方可排放,避免對(duì)環(huán)境和周邊人員的身體健康造成危害。


禹城市| 文水县| 彰化市| 凤凰县| 河池市| 上犹县| 连州市| 沂水县| 府谷县| 荔波县| 高清| 宕昌县| 沛县| 乐业县| 余江县| 太白县|