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特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖

2020-06-15 09:12:24    責(zé)任編輯: 特氣管道安裝公司     0

特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖
電子特氣管道系統(tǒng)是指半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、新能源、光纖、微電子等制程工藝中用到的特種制程工藝氣體的供氣系統(tǒng)。
系統(tǒng)一般由氣瓶房供氣端和潔凈室用氣端組成,氣瓶房所用到的設(shè)備有特氣柜,特氣柜,大宗氣罐和尾氣廢氣處理設(shè)備組成,潔凈室用氣端一般由VMB閥門(mén)分配箱,VMP閥門(mén)盤(pán)組成,主要作用是分配氣體到工藝設(shè)備。

電子特氣管道系統(tǒng)都需要安裝GDS氣體探測(cè)報(bào)警系統(tǒng),GDS和供氣系統(tǒng)組成聯(lián)動(dòng)作用。
以上就是特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖的簡(jiǎn)單介紹,如有興趣了解詳細(xì)的特氣系統(tǒng),請(qǐng)致電0755-27919860咨詢?cè)斍?br/>

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